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設備應用：德國米銥雙光譜共焦、測基礎(chǔ)晶圓片-厚度
測試范圍：TTV、PV、LTV(局部厚度變化)、彎曲度(BOW)、翹曲度(WARP)、直徑
使用面積：2mm*2mm(可設≥0.5mm*0.5mm)
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| 機臺基本組裝規(guī)格 | |
|---|---|
| 最大行程 | X450*Y450mm |
| 工作臺面 | 400mm*400mm |
| 遠動速度 | ≤25M/min |
| 定位精度 | ±0.01mm |
| 重復定位精度 | ±0.01mm |
| 遠動控制系統(tǒng) | EDAC |
| 外型尺寸 | 1000mm*1000mm*2000mm |
| 電力需求 | 單相220V/50Hz |
| 米銥光譜共焦參數(shù) | ||||
|---|---|---|---|---|
| 檢測范圍 | 工作距離 | 解析度 | 重復性 | 光點 |
| 1mm | 10mm | 8mm | <±0.5μm | 8μm |
| 機臺實際運行精度 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 可測尺寸 | 可測厚度 | 靜態(tài)精度 | 動態(tài)精度 | 解析度 | 可測距離 | 掃描速度 |
| ≤12寸 | ≤5mm | ≤0.05u | ≤0.7μ | 8nm | ≤8μ | 350mm/s |
| 指標 | 公差 | |
|---|---|---|
| 直徑 | 150mm | ±2mm |
| TTV厚度 | 0.7mm | ±2μm |
| LTV (局部厚度變化) | 2mm*2mm(由≥80點組成) | ±2μm |
| BOW 彎曲度 | ±0.01mm | ≤25μm |
| WARP 翹曲度 | ±0.01mm | ≤40μm |
| Total usable area (可使用面積) | 2mm*2mm | ≥98% |
| CT | ≤60s | 行距2mm 計75條profile |
| 間距50μ(掃描速度)取一厚度值 |
